產(chǎn)品資料
半導(dǎo)體領(lǐng)域用高精度質(zhì)量流量控制器流量計(jì)
產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體領(lǐng)域用高精度質(zhì)量流量控制器流量計(jì)
產(chǎn)品型號(hào): FCST 1000L系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體領(lǐng)域用高精度質(zhì)量流量控制器流量計(jì)可在半導(dǎo)體、太陽能電池板、燃料電池、一般產(chǎn)業(yè)等廣泛領(lǐng)域使用。●高速響應(yīng)[采用電磁閥]:1sec以下，流量控制范圍（2～100%）覆蓋在1sec以內(nèi)。●高精度：±1.0％F.S以內(nèi)。
半導(dǎo)體領(lǐng)域用高精度質(zhì)量流量控制器流量計(jì) 的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體領(lǐng)域用高精度質(zhì)量流量控制器流量計(jì)
半導(dǎo)體領(lǐng)域用高精度質(zhì)量流量控制器流量計(jì)
可在半導(dǎo)體、太陽能電池板、燃料電池、一般產(chǎn)業(yè)等廣泛領(lǐng)域使用。
●高速響應(yīng)[采用電磁閥]:1sec以下，流量控制范圍（2～100%）覆蓋在1sec以內(nèi)。
●高精度：±1.0％F.S以內(nèi)。
●金屬封條和橡膠封條可供選擇。
●符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)：符合RoHS規(guī)定，是對(duì)地球環(huán)境友好的產(chǎn)品。
仕様
| 型號(hào):大容量流量控制器 | FCST1005（M）升 | FCST1030（M）升 | FCST1050（M）升 |
|---|---|---|---|
| 型號(hào)：質(zhì)量流量計(jì) | FCSTM1005（M）升 | FCSTM1030（M）升 | FCSTM1050（M）升 |
| 流量（N2換算流量） | 10,20,30,50, 100，200，300，500SCCM 1，2，3，5SLM | 10,20,30SLM | 50SLM |
| 閥門動(dòng)作 | NC：普通關(guān)閉 | ||
| 制御流量範(fàn)囲 | 2～100％ F.S | ||
| 流量精度 | ±1%F.S（精度保證范圍：15～35℃） | ±2%F.S（同左） | |
| 流量設(shè)定信號(hào) | 0.1～5VDC | ||
| 流量出力信號(hào) | 0～5VDC | ||
| 再現(xiàn)性 | ±0.2％ F.S | ||
| 応答時(shí)間 | ≦1秒 | ≦2秒 | |
| 必要差圧 | 50～300KPa | 50～300kPa(6～10SLM) 100～300KPa（11～30SLM） | 200～300KPa |
| 最大動(dòng)作圧力 | 400KPa（克） | ||
| 耐圧力 | 1MPa(G) | ||
| 使用保証溫度範(fàn)囲 | 5～50℃ | ||
| 外部泄漏 | 金屬貼紙：1×10-11帕姆3/sec He橡膠封條：1×10-7帕·米3/秒 他 | ||
| 取付姿勢(shì) | 未指定（自由） | ||
| 供給電源電圧、消費(fèi)電流 | ±15VDC：25mA、-15VDC：180mA | ||
| 接氣部材質(zhì) | SUS316、磁性不銹鋼、PTFE、（橡膠密封：氟橡膠或氯丁橡膠） | ||
| 密封部件材質(zhì) | 金屬密封：SUS316L 橡膠密封：氟橡膠或氯丁橡膠 | ||
| 執(zhí)行器方式 | 螺線管執(zhí)行器 | ||
| 表面処理 | 機(jī)械加工精整 | ||
| 接続継手 | 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal（オプション） | ||
可在半導(dǎo)體、太陽能電池板、燃料電池、一般產(chǎn)業(yè)等廣泛領(lǐng)域使用。
●高速響應(yīng)[采用電磁閥]:1sec以下，流量控制范圍（2～100%）覆蓋在1sec以內(nèi)。
●高精度：±1.0％F.S以內(nèi)。
●金屬封條和橡膠封條可供選擇。
●符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)：符合RoHS規(guī)定，是對(duì)地球環(huán)境友好的產(chǎn)品。
仕様
| 型號(hào):大容量流量控制器 | FCST1005（M）升 | FCST1030（M）升 | FCST1050（M）升 |
|---|---|---|---|
| 型號(hào)：質(zhì)量流量計(jì) | FCSTM1005（M）升 | FCSTM1030（M）升 | FCSTM1050（M）升 |
| 流量（N2換算流量） | 10,20,30,50, 100，200，300，500SCCM 1，2，3，5SLM | 10,20,30SLM | 50SLM |
| 閥門動(dòng)作 | NC：普通關(guān)閉 | ||
| 制御流量範(fàn)囲 | 2～100％ F.S | ||
| 流量精度 | ±1%F.S（精度保證范圍：15～35℃） | ±2%F.S（同左） | |
| 流量設(shè)定信號(hào) | 0.1～5VDC | ||
| 流量出力信號(hào) | 0～5VDC | ||
| 再現(xiàn)性 | ±0.2％ F.S | ||
| 応答時(shí)間 | ≦1秒 | ≦2秒 | |
| 必要差圧 | 50～300KPa | 50～300kPa(6～10SLM) 100～300KPa（11～30SLM） | 200～300KPa |
| 最大動(dòng)作圧力 | 400KPa（克） | ||
| 耐圧力 | 1MPa(G) | ||
| 使用保証溫度範(fàn)囲 | 5～50℃ | ||
| 外部泄漏 | 金屬貼紙：1×10-11帕姆3/sec He橡膠封條：1×10-7帕·米3/秒 他 | ||
| 取付姿勢(shì) | 未指定（自由） | ||
| 供給電源電圧、消費(fèi)電流 | ±15VDC：25mA、-15VDC：180mA | ||
| 接氣部材質(zhì) | SUS316、磁性不銹鋼、PTFE、（橡膠密封：氟橡膠或氯丁橡膠） | ||
| 密封部件材質(zhì) | 金屬密封：SUS316L 橡膠密封：氟橡膠或氯丁橡膠 | ||
| 執(zhí)行器方式 | 螺線管執(zhí)行器 | ||
| 表面処理 | 機(jī)械加工精整 | ||
| 接続継手 | 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal（オプション） | ||
可在半導(dǎo)體、太陽能電池板、燃料電池、一般產(chǎn)業(yè)等廣泛領(lǐng)域使用。
●高速響應(yīng)[采用電磁閥]:1sec以下，流量控制范圍（2～100%）覆蓋在1sec以內(nèi)。
●高精度：±1.0％F.S以內(nèi)。
●金屬封條和橡膠封條可供選擇。
●符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)：符合RoHS規(guī)定，是對(duì)地球環(huán)境友好的產(chǎn)品。
仕様
| 型號(hào):大容量流量控制器 | FCST1005（M）升 | FCST1030（M）升 | FCST1050（M）升 |
|---|---|---|---|
| 型號(hào)：質(zhì)量流量計(jì) | FCSTM1005（M）升 | FCSTM1030（M）升 | FCSTM1050（M）升 |
| 流量（N2換算流量） | 10,20,30,50, 100，200，300，500SCCM 1，2，3，5SLM | 10,20,30SLM | 50SLM |
| 閥門動(dòng)作 | NC：普通關(guān)閉 | ||
| 制御流量範(fàn)囲 | 2～100％ F.S | ||
| 流量精度 | ±1%F.S（精度保證范圍：15～35℃） | ±2%F.S（同左） | |
| 流量設(shè)定信號(hào) | 0.1～5VDC | ||
| 流量出力信號(hào) | 0～5VDC | ||
| 再現(xiàn)性 | ±0.2％ F.S | ||
| 応答時(shí)間 | ≦1秒 | ≦2秒 | |
| 必要差圧 | 50～300KPa | 50～300kPa(6～10SLM) 100～300KPa（11～30SLM） | 200～300KPa |
| 最大動(dòng)作圧力 | 400KPa（克） | ||
| 耐圧力 | 1MPa(G) | ||
| 使用保証溫度範(fàn)囲 | 5～50℃ | ||
| 外部泄漏 | 金屬貼紙：1×10-11帕姆3/sec He橡膠封條：1×10-7帕·米3/秒 他 | ||
| 取付姿勢(shì) | 未指定（自由） | ||
| 供給電源電圧、消費(fèi)電流 | ±15VDC：25mA、-15VDC：180mA | ||
| 接氣部材質(zhì) | SUS316、磁性不銹鋼、PTFE、（橡膠密封：氟橡膠或氯丁橡膠） | ||
| 密封部件材質(zhì) | 金屬密封：SUS316L 橡膠密封：氟橡膠或氯丁橡膠 | ||
| 執(zhí)行器方式 | 螺線管執(zhí)行器 | ||
| 表面処理 | 機(jī)械加工精整 | ||
| 接続継手 | 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal（オプション） | ||
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