小型液體單晶圓噴淋用液體監(jiān)測流量計
小型液體單晶圓噴淋用液體監(jiān)測流量計
檢測原理:法拉第電磁感應(無電極突出,抗氣泡)襯里/接液:VN-W:PPS 襯里 + SUS316L 電極(純水、去離子水)VN-C:PFA 襯里 + 鈦電極(碳氫、酒精、燃料)VN-S:陶瓷測量管 + 鈦電極(NaOH、KOH、HF、H?O?)口徑/流量范圍:6 mm:0.15 – 15 L min?110 mm:0.4 – 40 L min?115 mm:1 – 100 L min?1精度:±1.0 % RD(15 L min?1 以上)/ ±0.015 L min?1(小流量)重復性:±0.2 % RD響應時間:≤ 100 ms(T90,50 Hz 輸出更新)輸出:脈沖(開集,0-1 kHz)+ 隔離 4-20 mA(三線)電源:DC 12 – 24 V ±10 %,功耗 0.8 W使用溫度:液體 0 – 70 ℃(VN-S 陶瓷 0 – 100 ℃)耐壓:1.0 MPa(常溫)連接方式:入/出口相同:Rc 3/8″、1/2″、3/4″ 內(nèi)螺紋;可選快擰、倒鉤軟管接頭全長 55 mm(6 mm 型)/ 65 mm(10 mm)/ 75 mm(15 mm)防護:IP65(表頭旋轉(zhuǎn)鎖緊后)重量:45 g(6 mm)/ 60 g(10 mm)/ 80 g(15 mm)清洗行業(yè)安裝優(yōu)點長度 55 mm,可塞進單晶圓清洗手臂,無懼空間干涉表頭 360 ° 旋轉(zhuǎn),布線不扭結無前后直管段要求(0D/0D),貼近噴淋閥安裝也能保證 1 % 精度接液部無電極突出,DI 水/臭氧水不易積氣泡陶瓷型 VN-S 可 100 ℃ 熱堿液,SPM 清洗后熱水沖洗段照常使用選型速查| 液體 | 溫度 | 推薦型號 | 接液材質(zhì) ||------|------|----------|----------|| 18 MΩ DI 水 | 25 ℃ | VN-W-6 | PPS+SUS316L || IPA 碳氫 | 40 ℃ | VN-C-10 | PFA+Ti || NaOH 5 % | 80 ℃ | VN-S-15 | 陶瓷+Ti || HF 0.5 % | 60 ℃ | VN-S-10 | 陶瓷+Ti |輸出接線(4 線)紅:+12-24 V黑:0 V綠:4-20 mA +白:脈沖輸出(開集)價格 & 交期(2025-Q3)VN-W-6 Rc3/8:JPY 38 000(≈ 0.18 萬 RMB)VN-S-10 Rc1/2:JPY 58 000國內(nèi)現(xiàn)貨 1-2 周;軟管倒鉤型 3 周總結VN 型把電磁流量傳感做到 55 mm 長、45 g 重,360 ° 旋轉(zhuǎn)表頭 + 0D 直管段 + 4-20 mA/脈沖雙輸出,純水-強堿全材質(zhì)覆蓋,是單晶圓清洗臂、沖洗槍、小型循環(huán)機“即插即用"的流量監(jiān)測。純水-強堿全材質(zhì)覆蓋,是單晶圓清洗臂、沖洗槍、小型循環(huán)機“即插即用"的流量監(jiān)測純水-強堿全材質(zhì)覆蓋,是單晶圓清洗臂、沖洗槍、小型循環(huán)機“即插即用"的流量監(jiān)測
深圳市秋山貿(mào)易有限公司版權所有 地址:深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002