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真空環境測量用氧化鋯式氧氣濃度計

產品名稱: 真空環境測量用氧化鋯式氧氣濃度計
產品型號: EtherCAT
產品特點: 真空環境測量用氧化鋯式氧氣濃度計
氧化鋯傳感器與超薄轉換器分離,可直接插入真空腔,無需采樣泵
測量范圍 10 ppm–100 %O?,響應 T??<1 s
標配 EtherCAT 接口,適合嵌入半導體真空鍍膜、刻蝕等高速產線

真空環境測量用氧化鋯式氧氣濃度計 的詳細介紹

真空環境測量用氧化鋯式氧氣濃度計

真空環境測量用氧化鋯式氧氣濃度計

氧化鋯傳感器與超薄轉換器分離,可直接插入真空腔,無需采樣泵

測量范圍 10 ppm–100 %O?,響應 T??<1 s

標配 EtherCAT 接口,適合嵌入半導體真空鍍膜、刻蝕等高速產線

氧化鋯傳感器與超薄轉換器分離,可直接插入真空腔,無需采樣泵

測量范圍 10 ppm–100 %O?,響應 T??<1 s

標配 EtherCAT 接口,適合嵌入半導體真空鍍膜、刻蝕等高速產線

氧化鋯傳感器與超薄轉換器分離,可直接插入真空腔,無需采樣泵

測量范圍 10 ppm–100 %O?,響應 T??<1 s

標配 EtherCAT 接口,適合嵌入半導體真空鍍膜、刻蝕等高速產線

氧化鋯傳感器與超薄轉換器分離,可直接插入真空腔,無需采樣泵

測量范圍 10 ppm–100 %O?,響應 T??<1 s

標配 EtherCAT 接口,適合嵌入半導體真空鍍膜、刻蝕等高速產線

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測量范圍 10 ppm–100 %O?,響應 T??<1 s

標配 EtherCAT 接口,適合嵌入半導體真空鍍膜、刻蝕等高速產線

氧化鋯傳感器與超薄轉換器分離,可直接插入真空腔,無需采樣泵

測量范圍 10 ppm–100 %O?,響應 T??<1 s

標配 EtherCAT 接口,適合嵌入半導體真空鍍膜、刻蝕等高速產線

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